| # | Обоснование | Ед.изм | Наименование |
|---|---|---|---|
| 1 | Ц32-1-2-1 | КОМПЛ | УСТАНОВКА ВАКУУМНОГО НАПЫЛЕНИЯ#(ВАКУУМНОЕ НАПЫЛИТЕЛЬНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ) |
| 2 | Ц32-1-2-2 | КОМПЛ | СИСТЕМА АВТОМАТИЗИРОВАННОГО ОСАЖДЕНИЯ СЛОЕВ КРЕМНИЯ ПРИ ПОНИЖЕННОМ ДАВЛЕНИИ#(ВАКУУМНОЕ НАПЫЛИТЕЛЬНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ) |