| # | Обоснование | Ед.изм | Наименование |
|---|---|---|---|
| 1 | Ц32-1-21-1 | КОМПЛ | УСТАНОВКА ВЫРАЩИВАНИЯ ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ СТРУКТУР ГИДРИДНЫМ МЕТОДОМ ПРИ ПОНИЖЕННОМ ДАВЛЕНИИ, СВЧ ОБОГРЕВОМ#(ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ ЭПИТАКСИИ) |
| 2 | Ц32-1-21-2 | КОМПЛ | УСТАНОВКА ЭПИТАКСИАЛЬНОГО НАРАЩИВАНИЯ ПЛЕНОК МОНОКРИСТАЛЛОВ#(ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ ЭПИТАКСИИ) |
| 3 | Ц32-1-21-3 | КОМПЛ | УСТАНОВКА НАРАЩИВАНИЯ ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ СЛОЕВ#(ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ ЭПИТАКСИИ) |
| 4 | Ц32-1-21-4 | КОМПЛ | УСТАНОВКА ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МНОГОСЛОЙНЫХ ГЕТЕРОЭПИТАКСИАЛЬНЫХ СТРУКТУР#(ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ ЭПИТАКСИИ) |